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    無塵室內生產與制造設備應注意的重點事項

    1.在生產設備選擇、布置與保養: A.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備,一定要注意活動部分之發塵。 B.應當選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。 C.在生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應配備過濾裝置。 D.規劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各并以容易清潔為原則。 

    E.真空泵等容易產生污染物的這類設備,應設置在無塵室外面或回風區,并加裝排氣管線排氣。 

    F.設置給水管線、氣體管線和電氣系統時,其構造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。 

    G.生產及相關設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。 

    H.應加強注意室內的溫濕度控制,避免因濕度之不當造成結露生銹。 

    I.當設備維修時易產生微塵粒子,故維修時盡量于清潔室外進行,并加隔離柵隔離。 

    J.對于施工或維修之廠商,應告知進出無塵室之各項規定,并且負責工程師應隨侍在側監工。 

    K.應有無塵室專用工具組,不得帶出無塵室外使用。 

    L.規劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室,將是一理想之規劃。 

    2.生產設備之防塵措施: 

    A.磨損、切削均為發生微塵之原因,故需將發塵部分掩蓋之。 

    B.易產生塵埃之設備,若能的話應布置于風尾地點。 

    C.在操作時,應盡量減少接觸零件或產品。 

    D.不得有太大或不必要的操作動作,以免卷起附近之灰塵。 

    E.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備要應有過濾設備。 

    F.為不使氣體或液體滯留,造成微污染,故管路配置應有旁路閥之設置。 

    3.自動化與無塵化: 

    A.設立自動化傳送系統,可減少人員方面所帶來的污染,其費用相當昂貴,須詳加評估。 

    B.建立管制項目如進入無塵室人員的資格限定,無塵室作業人員作業規則,無塵室管理規則等




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